易威奇气动波纹管泵 FS-100HT2 IWAKI易威奇

易威奇气动波纹管泵 FS-100HT2 IWAKI易威奇
通过高温、大流量输送，显着提高清洗效率的波纹管泵。

现在可以在最高温度180℃下以100L/min的最大流量进行输送，与传统的需要高温输送的化学溶液产品相比，预计循环流量可提高约1.8倍。

基本信息易威奇气动波纹管泵 FS-100HT2

[显着提高清洁效率]
改善的循环流量提高了颗粒、晶片表面的金属污染物和有机污染物的去除效率，从而可以抑制由于电路图案的小型化而导致的清洁时间的增加。

[无污染设计]
所有接液部件均由氟树脂（PTEF、PFA）制成，可输送半导体应用中使用的酸、碱和过氧化氢等化学溶液。
另外，泵的外周也涂有氟，因此没有裸露的金属。

[减轻重量]
通过优化零件形状，与传统产品相比，我们实现了约 30% 的重量减轻。