日本 MIYUKI 美幸辉 L-I100 内置气缓冲减震气动真空蝶阀

产品概述

核心规格参数

1. 法兰标准：ISO-I100，DN100，任意角度均可安装

2. 真空适用范围：标准大气压至 1×10⁻⁵Pa 高真空，适配粗抽、高真空全工艺

3. 泄漏标准：阀座全关漏率≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s，阀杆双层密封，可承受双向压差，密封稳定不漏气

4. 材质配置：阀体、蝶板为 SUS304 镜面抛光不锈钢，内腔无死角、低放气；外壳轻量化铝合金；标配 FKM 氟橡胶密封圈，耐受有机溶剂、电解液腐蚀，强腐蚀工况可更换 FFKM 全氟醚密封圈

5. 气动驱动参数：适配 0.4~0.6MPa 干燥压缩空气；齿轮齿条传动，气缸自带气垫缓冲；可加装磁性感应开关，实时反馈全开、全闭信号，直接对接 PLC 自动化联锁

6. 耐温与使用寿命：长期工作温度区间 - 20℃~120℃，启闭循环寿命可达百万次，缓冲结构减少密封件冲击损耗，延长配件使用寿命

核心特点：气缸内置气缓冲减震系统

1. 减震降噪：消除金属撞击异响，车间运行噪音更低；

2. 保护密封配件：防止阀座、密封圈受剧烈冲击变形损坏，减少密封件更换频次，降低设备维护成本；

3. 气流变化平缓：启闭动作柔和，不会产生气流骤变，避免晶圆、光学膜、锂电电芯被气流冲击造成工艺不良。