日本 MIYUKI 美幸辉 G-C160 零泄漏双向密封真空蝶阀

产品概述

核心规格

1. 法兰规格：CF160 金属刀口密封法兰，兼容 JIS、KF 标准管路转接，DN160 通径，任意角度可安装，无介质流向限制。

2. 真空适用区间：常压至 1×10⁻⁶Pa 超高真空，粗抽、稳压、破空全流程适配。

3. 密封性能：双向全包覆氟橡胶密封结构，正反承压均可实现零泄漏，整机氦检漏率满足高端真空设备验收标准。

4. 材质配置：阀体、蝶板采用 SUS304 镜面抛光不锈钢，内腔无死角、低气体析出；标配 FKM 氟橡胶密封件，耐有机溶剂、电解液、弱酸弱碱腐蚀，强腐蚀工况可更换 FFKM 全氟醚密封圈。

5. 驱动结构：双气缸精密齿轮齿条传动，气源压力适配 0.4~0.6MPa 干燥洁净压缩空气；气缸两端内置气垫缓冲，可加装阀位感应开关，信号对接 PLC 完成自动化联锁。

6. 使用环境：长期工作温度 - 20℃~120℃，气缸环境最高耐受 40℃，百万次启闭循环使用寿命。

7. 流道优势：超薄阀体搭配流线型内腔，全开状态气流阻力小，抽气、排气效率高，缩短工艺等待时间。

核心特点：零泄漏双向密封

产品优势

1. 多标准法兰兼容，设备改造便捷

   CF160 法兰可直接转接 JIS、KF 标准管路，新旧真空设备改造无需重新开孔改管路，装配效率更高。

2. 双气缸驱动，调节稳定响应快

   双气缸搭配齿轮齿条传动，传动间隙极小，输出推力均匀稳定，开度调节响应迅速，锁止牢固无阀位漂移。

3. 内置气缓冲，保护腔体精密工件

   气缸两端空气缓冲结构，阀门开合至极限位置时缓冲抵消撞击力，运行噪音低，避免气流剧烈冲击晶圆、光学膜、锂电电芯等贵重工件，同时减少密封件冲击磨损。

4. 低发尘洁净构造，适配高端洁净制程

   阀门启闭仅密封贴合位置产生接触，其余行程无金属摩擦，粉尘析出量极低；整机无尘车间完成组装与单台氦质谱检漏，满足半导体、光学镀膜高洁净生产要求。

5. 模块化密封组件，维护简单

   密封件独立模块化设计，现场更换氟橡胶密封圈无需整体拆解阀体，大幅缩短产线停机维保时长，适配 24 小时连续自动化量产。

适用场景

1. 半导体高真空设备：溅射、等离子清洗腔体管路稳压、隔离切断；

2. 光学、光伏卷绕镀膜设备：大容量腔体缓慢抽真空、梯度平稳破空；

3. 锂电池真空产线：电芯真空注液、整炉脱泡设备真空压力调控；

4. 精细化工、新材料真空反应炉：腐蚀介质工况真空管路通断、压力稳定控制。