MIYUKI美幸辉 GR-C160 真空隔离阀 全氟醚密封适配腐蚀气体
2026-07-29 15:36:06
admin
日本 MIYUKI 美幸辉 GR-C160 耐腐蚀真空隔离闸阀
产品概述
GR-C160 属于 GR 系列旋转手柄式手动真空隔离闸阀，采用 CF160 超高真空刀口法兰，DN160 标准通径。阀门标配全氟醚 Kalrez 密封组件，可耐受卤素、等离子、酸碱腐蚀工艺气体，专为腐蚀型高真空系统设计。纯手动旋转手轮驱动，无需气源、供电，适配腔体检修、腐蚀介质管路隔断工况；阀体低析出洁净不锈钢构造，等距滚珠双向耐压密封，整机百级无尘车间装配并逐台氦检，广泛用于半导体蚀刻、化工腐蚀真空、等离子沉积等高腐蚀洁净工艺。
核心规格参数
法兰规格：CF160 金属刀口密封法兰，DN160 通径，多姿态自由安装无流向约束
真空适用区间：常压 1×10⁵Pa ~ 超高真空 1×10⁻⁶Pa，覆盖粗抽、保压、检修隔断全工况
泄漏性能：阀体壳体漏率≤1×10⁻¹¹ Pa・m³/s，阀座密封漏率≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s，长期保压无渗漏
过流材质：气路接触部位一体 SUS304 不锈钢，镜面抛光板材真空钎焊成型，内腔无积气死角，低气体析出
密封配置（核心）：阀座、阀杆轴封选用全氟醚 O 型圈，替代常规氟橡胶；耐强腐蚀卤素气体、等离子体、有机酸碱、电解液蒸汽，不易溶胀、老化、析出杂质
驱动方式：旋转手轮纯手动螺纹传动，启闭顺滑省力，单人即可完成全开、全关操作；可选配微动位置开关，向 PLC 反馈阀门开闭状态
生产工艺：整机在百级洁净室内完成组装、清洗、氦质谱检漏，无油污、粉尘污染腔体风险
核心产品亮点
1. 全氟醚耐腐蚀密封，适配强腐蚀真空工艺
常规氟橡胶无法耐受蚀刻卤素、等离子腐蚀气体，本款升级全氟醚密封件，化学惰性极强，可长期接触各类腐蚀工艺介质，密封件不易开裂、溶胀、挥发小分子杂质，杜绝腐蚀介质渗漏污染真空腔体，大幅延长密封配件更换周期，适配半导体蚀刻、化工腐蚀真空反应设备。
2. 等间距滚珠压紧密封，双向抗背压不漏气
阀瓣采用均匀钢球多点压紧密封结构，正向真空负压、反向大气背压工况下密封面受力均匀贴合，腔体泄压、压力剧烈波动时依旧保持严密密封，解决普通手动阀门逆压泄漏缺陷，高真空长期静置保压稳定可靠。
