MIYUKI日本美幸辉 洁净真空阀 无电镀接触面 BR-N50
2026-07-29 15:47:19
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日本 MIYUKI 美幸辉 BR-N50 无电镀接触面洁净真空蝶阀
产品概述
BR-N50 属于美幸辉 BR 洁净系列手动真空蝶阀,JIS DN50 标准法兰,核心特色为气体接触面全程无电镀、无涂层处理,从源头杜绝镀层挥发、微粒脱落污染真空腔体,专为半导体、OLED、光伏等高洁净真空制程打造。阀体超薄面间结构,通导效率优异,全关状态完全密封,整机百级无尘车间完成组装与氦检,适配精密腔体隔断、检修管路工况。
核心规格参数
法兰规格:JIS 标准 DN50 法兰,无安装姿态、介质流向限制,立式、卧式、斜向管路均可装配
真空适用区间:常压 1×10⁵Pa ~ 高真空 1×10⁻⁵Pa,覆盖粗抽、保压、腔体检修隔断全工况
泄漏性能:阀座内漏≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s,阀杆双层氟橡胶轴封外漏≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s,双向耐受真空负压、大气背压,长期保压无渗漏
接触面材质(核心):阀体、蝶片全部 SUS304 不锈钢,与工艺气体接触全部基材原生面,无电镀、无喷涂、无化学镀层,内腔高精度电解镜面抛光,无藏气死角,基材气体析出量极低
密封配置:标配洁净型 FKM 氟橡胶 O 型圈,低小分子析出;腐蚀工艺可升级全氟醚密封,耐受卤素、酸碱腐蚀气体
驱动方式:杠杆省力式手动操作,单人轻松完成全开、全关;可选角度指示面板、手柄锁止装置,防止现场误操作;可加装微动开关,反馈阀门开闭状态
使用温度:阀体最高耐温 150℃,启闭循环使用寿命≥50 万次;整机全程无尘清洗、逐台氦质谱检漏出厂