日本 MIYUKI 美幸辉 B-C160 超薄阀体高电导大流量真空蝶阀

产品概述

核心规格参数

1. 法兰规格：CF160 金属刀口密封法兰，可定制 JIS、ISO、KF 法兰，通径 DN160

2. 真空适用范围：1×10⁵Pa~1×10⁻⁵Pa 超高真空区间

3. 泄漏参数：阀座内漏≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s，阀杆双层氟橡胶轴封外漏≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s，双向密封无渗漏

4. 气源条件：0.4~0.6MPa 干燥无油洁净压缩空气，齿轮齿条气缸驱动

5. 材质密封：介质接触面一体式 SUS304 不锈钢，内腔镜面抛光，低放气低析出；标配 FKM 氟橡胶密封，腐蚀工况可更换全氟醚密封圈，耐温最高 150℃

6. 可选配置：气缸自带气垫缓冲，可加装阀位感应开关，向控制系统远程传输阀门全开、全关状态信号

核心产品亮点

1. 超薄阀体搭配超高流导结构，流道开阔无遮挡，气流损耗低，大流量快速抽气，大幅缩短大型腔体抽真空耗时，提升生产、实验效率。

2. 增压紧凑型气缸，启闭推力充足稳定，气缸两端气垫缓冲设计，开关无剧烈撞击，降低设备震动与运行噪音，减少密封件损耗，延长阀门使用寿命。

3. 蝶板全包覆弹性密封，无介质流向限制，正向真空负压、反向大气背压均可紧密密封，长时间保压真空度无衰减，适配频繁破空、长时间保压工艺。

4. 全姿态无限制安装，立式、卧式、斜向、倒置管路均可直接装配，无需额外定制转接配件，适配真空设备多层交错、狭小密闭管路布局，降低设备装配设计成本。

5. 整机百级无尘车间组装检测，零部件经过无尘超声波清洗，传动结构摩擦产尘量极低；不锈钢内腔无电镀涂层，基材气体析出量少，避免粉尘、挥发物污染晶圆、光学膜、实验样品，适配高洁净精密真空制程。

产品核心优势

1. DN160 大通径 CF 刀口法兰，超薄阀体高流导，大流量快速抽气，缩短腔体真空制备时间

2. 双向承压全密封，氦检泄漏标准严苛，满足超高真空长时间保压生产、实验需求

3. 缓冲增压气缸，启闭平稳低冲击，低噪音低磨损，支持全天 24 小时自动化连续运行

4. SUS304 镜面抛光不锈钢材质，低放气低发尘，洁净等级适配半导体、光伏、光学镀膜高端精密制程

5. 无安装角度约束，支持阀位状态远程信号反馈，可整套联动真空自动化控制系统

6. 模块化密封配件，现场更换密封圈无需整体拆解阀体，设备维保操作简单，缩短产线停机时间

典型应用场景

1. 半导体、OLED、光伏卷绕镀膜设备，大型真空腔体主抽气管道自动化隔断阀

2. 高校、科研院所材料实验、薄膜沉积、表面分析超高真空设备管路切断阀门

3. 新材料、锂电研发真空脱气、热分析大型真空炉洁净管路通断阀

同系列型号区分

1. B-C160：CF160 气动蝶阀，超薄高流导大通流量款式，适配超高真空大腔体快速抽气工况

2. B-I160：ISO 法兰同款大通径阀门，无 CF 刀口密封结构，适配中高真空通用设备

3. BH 系列两段式气动蝶阀，带小开度预排气功能，用于易受损精密样品腔体，无超高流导超薄阀体设计

4. BT/BR 系列：手动操作真空蝶阀，无气动执行机构，仅适用于无气源小型真空设备