MIYUKI美幸辉 真空钎焊无缝腔体 耐腐蚀高真空阀 ABR-J50

2026-07-29 16:24:03 admin

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日本 MIYUKI 美幸辉 ABR-J50 真空钎焊无缝腔体耐腐蚀高真空 L 型手动阀

产品概述

ABR-J50 属于美幸辉 ABR 系列 DN50 直角 L 型手动高真空阀,阀体采用真空钎焊一体无缝腔体结构,搭配 SUS316L 金属波纹管轴封,耐各类腐蚀工艺气体,低气体析出,极限真空可达 10⁻⁷Pa。法兰适配 JIS J50 日系标准,无需气源驱动,多用于半导体镀膜、光学薄膜制备、高校科研实验室高真空腔体管路隔断。

核心规格参数

  1. 法兰规格:JIS-J50 螺栓法兰,适配日系真空炉、镀膜设备原厂管路,更换无需改造设备开孔

  2. 真空适用区间:常压 1×10⁵Pa ~ 超高真空 1×10⁻⁷Pa

  3. 泄漏指标:整机外漏≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s,双向承压密封,可抵御反向大气压力冲击,无漏气衰减

  4. 阀体工艺与材质:SUS304 不锈钢整体真空钎焊成型,腔体无拼接缝隙,内腔电解镜面抛光,无积气死角,出气量极低

  5. 密封结构

    轴封:SUS316L 一体式焊接金属波纹管,隔绝真空区与大气,阀杆运动无橡胶摩擦,不会产生粉尘、有机挥发物;波纹管长期使用无需更换密封件

    阀座密封:耐蚀 FKM 氟橡胶,耐受水汽、弱酸弱碱、镀膜工艺腐蚀气体

  6. 烘烤耐温:阀体整体可承受 200℃高温烘烤除气;手柄及感应配件最高耐温 70℃,不可高温烘烤

  7. 驱动方式:手动刻度旋转手柄启闭,无需压缩空气、电控线路,适合低频检修隔断场景

  8. 使用寿命:常规工况下启闭循环寿命可达 50 万次

  9. 可选配件:可加装磁感应阀位反馈开关,外接控制系统实时识别阀门全开、全关状态


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