MIYUKI美幸辉 SE-N40 压差直启无需预泄压 工业大腔体排气阀

产品核心优势

1. 耐高温耐腐蚀专用配置，316L 不锈钢与全氟醚密封适配腐蚀、高温工艺；

2. 可 200℃高温烘烤除气，低放气，满足高洁净真空制程；

3. 失气自动闭合安全结构，停机阻断腐蚀介质回流，设备运行安全性更高；

4. 直通闸阀大通流结构，气流损耗低，缩短腔体抽真空时长；

5. KF 标准快拆法兰，拆装维保简单，阀体支持任意角度安装；

6. 气动驱动可加装阀位信号反馈，可联动全自动真空生产线控制系统。

典型应用场景

1. 半导体、OLED、光伏薄膜沉积设备，含腐蚀工艺气体高温真空管路切断；

2. 精细化工、材料研发高温腐蚀气体管式真空炉、样品处理腔体；

3. 高校科研实验室腐蚀材料、高温气相反应超高真空实验设备；

4. 各类需要高温烘烤、介质具备酸碱腐蚀性的工业真空机组管路隔断。

同系列型号区分

1. IP-N25：失气常闭闸阀，耐高温、耐腐蚀气体专用切断阀；

2. IV-N25：紧凑型破空隔离阀，侧重狭小腔体缓泄压、防真空泵油回流，无高温耐蚀专用结构；

3. PER-N25：电磁驱动防返油阀，无需气源，仅适配普通油旋片泵，不耐高温强腐蚀；

4. AEH-N 系列：气动真空蝶阀，常规洁净工况通用，密封材质不耐强腐蚀，不支持 200℃烘烤