MIYUKI日本美幸辉 氟橡胶O型圈控制真空阀 BAR-I200
2026-07-29 16:59:05
admin
日本 MIYUKI 美幸辉 BAR-I200 氟橡胶 O 型圈伺服真空调节蝶阀
产品概述
BAR-I200 属于美幸辉 BAR 系列伺服无级真空控制蝶阀，DN200 大通径，I 代表 ISO 标准法兰，整套阀座、阀杆统一采用FKM 氟橡胶 O 型圈作为密封核心，依靠伺服电机直驱实现 0~90° 全行程连续开度调节，适配常压至 1×10⁻⁵Pa 高真空工况，主打真空腔体 PID 闭环稳压、排气流量精准控制，广泛适配光学镀膜、锂电烘烤、实验室大型真空腔体量产工艺。
核心规格参数
法兰规格：ISO200 标准法兰，可兼容日系真空炉、大型镀膜设备标准管路
公称通径：DN200 大通径，流道开阔、气体流通阻力极低
驱动方式：伺服电机直接连接阀轴，无齿轮减速机构，零背隙无开度漂移
适配真空区间：1×10⁵Pa 常压～1×10⁻⁵Pa 高真空，粗抽、工艺高真空全场景通用
泄漏指标（氦检标准）
阀片内漏≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s；阀杆氟橡胶 O 圈外漏≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s
材质与密封配置
阀体、蝶板、阀杆：SUS304 不锈钢，内腔电解镜面抛光，低放气、无积气死角；
标准密封：FKM 氟橡胶 O 型圈（阀座 + 阀杆双重 O 圈密封）；腐蚀工艺可升级全氟醚密封圈
耐温性能：阀体最高 150℃，伺服电机工作环境温度≤40℃，不支持 200℃高温烘烤
信号与配套：内置绝对式编码器，断电记忆开度；搭配 MG 系列控制器实现 PID 稳压，支持 Modbus 通讯对接 PLC 上位机
整机耐久：无尘车间装配检测，标准工况启闭循环寿命可达 45 万次
