日本 MIYUKI 美幸辉 BAZ-J25 指定开启度伺服真空蝶阀

产品概述

核心规格参数

1. 法兰规格：JIS 日标法兰 DN25（25A），适配日系真空炉、镀膜设备标准管路

2. 驱动结构：伺服电机直连阀轴，无齿轮减速机构，零背隙无开度漂移

3. 真空工作区间：1×10⁵Pa 常压～1×10⁻⁵Pa 高真空

4. 泄漏指标（氦检标准）

   阀片内漏≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s；阀杆氟橡胶 O 圈外漏≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s

5. 材质与密封

   阀体、蝶板：SUS304 不锈钢，内腔电解镜面抛光，低放气无积气死角

   标准密封：FKM 氟橡胶 O 型圈（阀座 + 阀杆双重密封），腐蚀工艺可升级全氟醚密封

6. 位置检测：内置绝对式原点记忆传感器，断电永久记忆开度，重启无需原点复归

7. 断电保护：内置电磁制动器，设备断电自动锁止当前阀位，不会自行开合

8. 运行噪音：启闭动作静音设计，运行噪音极低

9. 安装特性：阀体无安装角度、介质流向限制，立式、卧式、斜向、倒置管路均可装配