Swagelok世伟洛克 6LVV‑DPHBW4‑P 超高纯高压隔膜阀
Swagelok世伟洛克 6LVV‑DPHBW4‑P 超高纯高压隔膜阀
产品简介
6LVV‑DPHBW4‑P属于世伟洛克DPH系列无弹簧式高压超高纯手动隔膜阀,采用1/4英寸卡套管对焊接口,阀体采用316L VIM‑VAR真空感应熔炼真空重熔不锈钢,执行SC‑01超高纯度清洗规范,面向半导体、特种气体高压管路开发。全吹扫流道结构,无滞留死角,隔膜采用钴基超级合金,阀座为PCTFE材质,兼顾高压承压能力、极低颗粒析出、优异氦检漏性能,实现真空至高压工况下高纯介质可靠切断隔离,适合对洁净度、密封性、耐压等级同时有严苛要求的工艺气路系统。
工作原理
无弹簧隔膜密封结构,手动定向手柄驱动阀杆下压钴基合金隔膜,隔膜压紧PCTFE阀座实现阀门关闭;松开手柄,隔膜自身回弹实现阀门开启。介质仅接触阀体、隔膜、阀座,阀杆等运动部件完全隔离于介质流道之外,消除填料函外泄漏风险;平滑全扫掠流道,管路吹扫时无介质滞留死区,保障高纯气体管路洁净度,可完成高压特种气体、真空管路的通断隔离控制。
核心产品特点
高压超高纯双重性能,额定压力3045psig(210bar),阀体316L VIM‑VAR材质,SC‑01超高纯清洗,低析出、低脱气,适配半导体高压特种气体工况。
钴基超级合金隔膜,无内置弹簧,抗疲劳、循环寿命长,氦质谱检漏性能优异,大幅降低内漏风险,适合长期连续工艺运行。
全吹扫无死角流道,内腔平滑过渡,减少介质截留,管路吹扫置换效率高,降低气体交叉污染风险,满足UHP超高纯系统要求。
卡套管对焊连接,1/4in两端对焊接口,焊接后实现金属密封,适合永久管路安装,无垫片泄漏隐患,适配高纯特气焊道全检工艺。
PCTFE封闭式阀座,抗介质溶胀,颗粒产生量极低,耐腐蚀,保障多次开关后密封性能稳定可靠。
定向手动手柄,开关状态直观识别,可加装锁定配件,防止误操作;整机体积紧凑,适配气瓶柜、气源面板、设备内部狭小空间安装。
主要技术参数
型号:6LVV‑DPHBW4‑P
系列:DPH无弹簧高压超高纯隔膜阀
驱动方式:手动定向手柄
阀体材质:316L VIM‑VAR不锈钢
隔膜材质:钴基超级合金 UNS R30003
阀座材质:PCTFE
接口规格:两端1/4 in 卡套管对焊(BW)
流量系数Cv:0.20
压力等级:室温最高3045 psig(210 bar),兼容真空工况
工作温度:‑23℃~65℃(‑10℉~150℉)
清洗标准:SC‑01超高纯清洗
流道形式:直通两通
泄漏指标:氦质谱检漏标准
适用介质:高纯特种气体、惰性气体、兼容接液材质腐蚀性工艺气体
认证:CE
典型应用场景
半导体高压特种气体气瓶柜、气源面板;超高纯高压气体输送管路切断隔离;光伏、显示行业工艺气路;实验室高压高纯气体系统;特种气体供给设备;真空‑高压切换工艺管路;锂电新材料特种气体供给系统。
