岛津Shimadzu MSE‑2601 紧凑型可搬式氦质谱检漏仪

2026-09-04 10:56:20 admin

岛津Shimadzu MSE‑2601 紧凑型可搬式氦质谱检漏仪

产品简介

MSE‑2601是岛津MSE‑2600系列入门级全干式可移动氦检设备,带滚轮小型推车结构,整机重量仅58kg,主打轻量化、洁净无油,兼顾现场移动检修与设备集成嵌入两大使用场景。整机搭载岛津自研270°磁偏转分析管,无需油式前级泵,无油雾返流污染风险,适配洁净车间环境。仪器原生支持真空喷吹、罩袋法检漏,选配吸枪组件可拓展正压扫描定位漏点,相比同系列2602、2603,更加偏向设备维护、实验室抽检、中小型设备OEM集成,在保障高检测灵敏度的同时,优化整机体积与采购成本,是精密零部件密封性检测的通用主力机型。

检测原理

采用成熟270°磁偏转氦质谱检测原理,支持氦气为主示踪介质,兼容氢气检漏模式。 真空模式下,被测工件内部抽真空,外部喷吹氦气;一旦存在泄漏,氦气进入仪器内部,经离子源电离,依靠磁场筛选氦质荷比离子,将离子信号转化为量化漏率读数。设备内置两支镀氧化钇铱灯丝,搭配温度补偿自动调谐校准,抵消环境温度变化带来灵敏度漂移;具备行业优异的本底恢复能力,遇到大漏工件后基线可快速复位,缩短连续测试的等待时间,保障批量检测效率。整套真空系统全部采用非接触干式泵,杜绝油污返流污染待测精密器件。

核心产品特点

  1. 轻量化可移动机身,整机约58kg,自带滚轮,机身小巧,搬运灵活,断电后可直接移动,非常适合实验室、洁净车间多点位流转作业,也支持固定嵌入小型自动化工位,设备部署灵活度高。

  2. 全干式洁净真空系统,分子拖拽泵搭配非接触干式前级泵,无油蒸汽回流,不会污染半导体、锂电等高洁净要求被测工件,完全适配无尘车间使用条件。

  3. 高氦抽速,缩短检测节拍,测试端口氦抽速可达5.2L/s,中小型真空腔体抽气快,有效缩短单件检测周期,提升检测作业效率。

  4. 双灯丝冗余防护,内置两支铱灯丝,一支损耗可无缝切换备用灯丝继续工作,降低灯丝损耗造成的突发停机风险;温度补偿自动校准,减少人工标定频次,保证长期检测数据一致性。

  5. 完备工业通讯IO配置,搭载RS‑232C/RS‑485通讯接口,多路NPN/PNP可配置输入输出,可对接PLC、上位机,实现远程启停、结果判定输出、检测数据留存,方便集成至自动化系统。

  6. 触控式人机交互,大尺寸彩色触控面板,漏率实时曲线可视化,阈值报警、数据记录功能齐全;可选配吸枪单元、数据记录软件,拓展正压扫描检漏、电脑远程监控功能,满足定位漏点、数据溯源需求。

主要技术参数

  • 检测原理:270°磁偏转氦质谱法

  • 示踪气体:氦气He,兼容氢气H₂

  • 漏率测量范围:He:10⁻¹³~10⁰ Pa·m³/s;H₂:10⁻⁹~10⁰ Pa·m³/s

  • 分析管:270°磁偏转,双支镀氧化钇铱灯丝,温度补偿自动灵敏度校准

  • 真空配置:70L/s分子拖拽泵;110L/min非接触干式泵;双路皮拉尼真空计

  • 测试接口:NW25KF,端口最大承受压力1000Pa,氦抽速5.2L/s

  • I/O接口:RS‑232C/RS‑485;4路输入、12路输出IO(NPN/PNP可选)

  • 整机重量:约58kg

  • 供电:AC100‑240V,700VA,50/60Hz

  • 工作环境温度:5‑40℃

典型应用场景

真空设备腔体、真空阀门维护检修检漏;半导体零部件、小型精密器件实验室抽检;新能源小型组件、水冷接头密封性检测;制冷配件、医疗器械密封件检测;科研实验室设备配套;小型自动化检漏工位集成。

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