美国 MKS Instruments GV50A 质量流量控制器多气体
MKS Instruments美国MKS GV50A属于G系列多气体数字热式质量流量控制器，内置常闭切断阀，支持多气体、多量程切换，采用专利热式传感与数字控制算法，响应速度快，控制精度优异，密封件可选多种材质，适配半导体、光伏、科研工艺各类气体精密流量调控，可兼容模拟、多种工业数字通讯接口，便于设备自动化集成。
型号：GV50A
工作原理：热式质量流量控制器，内置集成下游切断阀
满量程流量范围：5sccm‑50000sccm（N₂当量，最大50slm）
控制区间：2%‑100%FS
控制精度：校准气体下±1%设定点；2‑20%FS区间±0.2%FS
重现性：±0.3%读数
响应稳定时间：600‑800ms
阀门泄漏率：氦气泄漏＜4×10⁻⁹atm‑cc/sec
最大入口压力：150psig；爆破压力1500psig
接液材质：SUS316L VAR、Elgiloy合金；密封标配Viton，可选Buna、Neoprene、Kalrez，适配不同腐蚀性气体
通讯信号：模拟0‑5VDC、4‑20mA；数字RS485 Modbus、Profibus、EtherCAT、PROFINET、DeviceNet，内置网页嵌入式诊断界面
环境条件：相对湿度0‑95%无冷凝；工作温度0‑50℃，存储‑20‑80℃
连接接口：标准螺纹接头，可适配多种管路规格
整机重量：约1.4kg
认证：CE认证
产品特点
多气体多量程功能，内置多种气体参数库，现场可切换气体类型，无需硬件改动，适配多种工艺气体供给。
集成高性能常闭切断阀，关断泄漏极低，停机可靠切断气路，避免气体窜入工艺腔体。
数字算法优化，响应速度快，流量控制稳定，压力波动对流量输出影响小，保障工艺一致性。
密封材质可选丰富，Kalrez密封版本可应对强腐蚀、特种工艺气体工况。
接口种类齐全，模拟、主流工业总线兼备，可直接替换老款2179A机型，改造升级成本低。
自带嵌入式网页诊断，无需拆卸设备即可读取运行参数、故障信息，便于维护排查。
标准紧凑机身，安装尺寸通用，适配半导体设备、光伏设备、实验室设备撬装集成。
典型应用场景 半导体工艺气体配比供给、光伏扩散、PECVD设备供气、科研实验气体精密配比、等离子工艺、薄膜沉积设备、精细化工气体定量输送、各类工艺设备气体流量自动化控制。
同系列区分 GE50A：弹性密封，不带内置切断阀； GM50A：全金属密封版本，无弹性体，适配高温、高纯强腐蚀气体； GM100A：更大流量规格MFC； GV50A：弹性密封+内置切断阀。
