日本ODORMONITOR神荣 DewTracer mini CRDS-H₂O CRDS微量水分仪
日本ODORMONITOR神荣 DewTracer mini CRDS-H₂O CRDS微量水分仪
产品简介
DewTracer mini CRDS-H₂O是神荣ODORMONITOR系列CRDS光腔衰荡光谱式微量水分分析仪，由神荣与日本产综研AIST联合开发，属于绝对测量方式，凭借超高灵敏度、高精度优势专门用于ppb级超干燥高纯气体微量水分检测。采用传感单元与显示控制器分体式设计，区别于电容式、TDLAS露点仪表，光学非接触测量，几乎无长期漂移，适合半导体、固态电池等行业极低露点工艺气体在线监测与研发评估，可建立微量水分计量溯源体系。
工作原理
CRDS光腔衰荡光谱原理：激光射入两端搭载超高反射镜片的光学腔，光束在腔内多次反射循环。当腔体内通入待测样气，水分子会吸收特定波长激光；切断激光光源后，探测器采集腔内光强衰减（衰荡）时间。衰荡时长与水汽浓度存在直接物理关系，无需依赖传感器标定曲线，属于绝对测量法。仪器同步采集样气温度、压力，内置算法自动换算露点/霜点、ppbv水分浓度，不受多数共存气体干扰。
核心特点
超高灵敏度ppb级检测，最低检出限12 ppbv，测量区间12 ppbv～20 ppmv，对应露点-100℃DP ~ -55℃DP，专门应对极深度干燥高纯气体微量水检测。
绝对测量原理，长期稳定性强，非吸附式传感，不存在氧化铝、电容传感器的吸附饱和、缓慢漂移问题，可作为微量水分比对标准器，可出具带溯源链校准证书。
快速响应特性，90%响应时间约60秒，腔体容积小，气体置换速度快，能够快速捕捉工艺管路内微量水分突变。
兼容多类工艺气体，支持氮气、空气、氩气、氧气，也适配He、H₂、CO₂以及部分轻度腐蚀性特种工艺气体，应用场景宽泛。
分体模块化结构，光学传感腔体与触控显示单元分离；可选台式、壁挂、19英寸机架安装，方便接入气体管路，也可单独搭配PC软件采集数据。
光学非接触检测，水汽不直接接触感光核心元件，耐污染能力优于常规露点传感器；配备吹扫接口，可保护光学腔体免受杂质污染。
关键技术参数
型号：DewTracer mini CRDS-H₂O
测量原理：CRDS光腔衰荡光谱法（绝对测量方式）
水分测量范围：12 ppbv ～ 20 ppmv，露点-100℃DP～-55℃DP（氮气环境）
测量精度：±4%读数 或 ±12 ppb，取较大值
90%响应时间：60s（50ppbv ↔1000ppbv）
采样压力：86~106kPaA，可选拓展至900kPaA
测量参数：ppbv/ppmv水分浓度、样气温度、压力；演算露点/霜点温度
气路接口：1/4英寸UJR超高洁净卡套接头，附带吹扫端口
显示单元：5英寸WVGA彩色触控LCD
输出（可选）：4~20mA模拟、RS232C数字通讯、继电器报警输出
供电：AC100~240V，50/60Hz
使用环境：主机1040℃，3580%RH（无凝露）
重量：传感单元约5kg，显示单元约1.7kg
应用场景
半导体制造高纯氮气、氩气超低水分在线监测；锂电池、全固态电池干燥房微量水分管控；燃料电池高纯载气微量水评估；计量实验室ppb级水分仪表比对校准；真空热处理、烧结炉保护气氛检测；特种电子材料、OLED器件研发超低湿环境测试。
