日本原装小野测器ONOSOKKI CL-0200 高分辨率计算功能选项
立即交付电容式非接触测厚仪 CL-0110输出功能（模拟输出、比较器输出）、日本原装小野测器ONOSOKKI CL-0200 高分辨率计算功能选项电容式非接触测厚仪CL-5610系列非接触式测厚仪产品概述FAQ（常见问题）外部视图下载 (DWG/PDF)申请电子报价产品目录 (PDF)特征测量方法测量示例外形规格选项CL-5610/5610S是一款非接触测厚仪，通过与Gap Detector VE
- 型号： CL-0200
立即交付电容式非接触测厚仪 CL-0110输出功能（模拟输出、比较器输出）、日本原装小野测器ONOSOKKI CL-0200 高分辨率计算功能选项
电容式非接触测厚仪
CL-5610系列非接触式测厚仪产品概述
FAQ（常见问题）
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产品目录 (PDF)
特征
测量方法
测量示例
外形规格
选项
CL-5610/5610S是一款非接触测厚仪，通过与Gap Detector VE系列传感器连接，测量导体、半导体和绝缘体的厚度。最多可连接两个 VE 系列传感器。它还可以用作 2ch 间隙测量仪。
CL-5610内置传感器放大器，VE传感器直接与测厚仪相连。适用于桌面离线测量（传感器与主机之间的线缆为1.5m，不可延长）。
CL-5610S 具有独立的传感器放大器，与 VE 传感器和测厚仪主体分开使用。主机和外部放大器之间的标准电缆长度为 2.5 m，并且可以选择延长至 10 m。这适用于传感器安装位置与测厚仪主体分开的情况，例如当它内置于设备中时。
特征
丰富的测量项目
可以测量厚度和间隙。此外，还可以分别显示偏差值、最大值、最小值和最大宽度值（最大-最小值）。
除了导体和半导体，还可以测量绝缘体的厚度。CL
-0300 绝缘体测量功能（可选）可让您测量塑料薄膜和玻璃板等绝缘体的厚度。
即使对于不完全导通的样品也可以稳定地测量厚度将样品放在涂有氟基薄膜的工作台上时，很难在样品和主体之间建立电导通（常见）。
迄今为止，必须通过大面积接触样品来确保稳定性，但 CL-0210 高阻抗接地模式功能（可选）可以减少该面积。此外，可以在相同面积内确保更高的稳定性。
高分辨率计算功能选件（CL-0200）*1
*1：使用 VE-2011/5010/5011 时，可实现 0.02 μm 的最小显示分辨率。VE-5010/5011 适用于使用 CL-0201 测量范围变更选件将测量范围设置为 20 至 200 μm 的情况。
最多可保存6个传感器校准值
CL-5610系列最多可存储6个传感器校准信息，因此您可以根据测量范围和分辨率选择和使用最合适的传感器。
数据可以连续采集到 PLC 或 PC
提供三种类型的数据输出功能：模拟电压输出、BCD 输出和RS-232C。可根据客户的录音设备选择输出方式。模拟输出和 BCD 输出可以以 20 ms 的数据更新间隔检索数据。通过边移动样品边测量，还可以测量检测片材厚度不均所需的连续厚度值。
*模拟输出需要输出功能选件（CL-0110），BCD输出需要BCD输出功能选件（CL-0120） 。
该设备可以外部控制
对于制造和检查线等的自动测量，需要从外部控制本仪器。CL-5610 标配触点控制端子和 RS-232C 端子，因此可以通过 PLC 或 PC 轻松控制。
比较器功能（安装CL-0110输出功能选件时）可用于在线异常值监测
测量样品示例 | 导体/半导体 | 绝缘子 |
|---|---|---|
硅片、钢板、铝板、硬盘、印刷电路板等对清洁度有要求的金属板、柔软物品、镜面物品、易刮花物品。 | 塑料，例如玻璃、聚乙烯和聚丙烯。 |
* 除上述测量样品外，如需测量中间材料和复合材料，请与我们联系。
测量方法
测量导体和半导体时 | 测量绝缘体时（可选） |
|
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外形规格
| 测量对象 | 导体、半导体、绝缘体*1 *1 需要 CL-0300 绝缘体测量功能选件。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 传感器输入 | 2 通道（A、B）电容传感器 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
测量项目 |
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显示模式 |
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适用传感器和显示分辨率 | 结合新型VE系列电容式间隙检测器，显示分辨率如下。
*1: VE-5010/5011 可以使用 CL-0201 测量范围更改选项指定 20 至 200 μm 的测量范围。在这种情况下，安装高分辨率选件时的显示分辨率为 0.02 μm。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 准确性 | ±0.15 %/FS（标准） ±0.12 %/FS（安装 CL-0200 高分辨率计算功能选件 <VE-8020/8021 除外>） | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 精度保证温度范围 | 23°C ± 2°C | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 展示 | 荧光显示管 测量结果显示可在1项（大写）和2项（小写）之间切换。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
参数设置 | 测量和计算所需的各种参数通过面板上的各种按键设置在内存中。即使关闭电源，这些设置值也会被断电记忆记忆。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
采样时间 | 20毫秒 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 平均 | 移动平均线：1至64倍 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 界面 | RS-232C：允许远程控制仪器和获取测量数据。可以打印到 DPU-414 打印机（单独出售） | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
| BCD输出功能 （选购件：CL-0120） | 测量结果6位并行BCD输出 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 遥控功能 | 可以进行计算功能的启动/停止和厚度校准等外部操作。
*适用连接器：R03-PB8M（多治见无线制） | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 同步功能 | 多个 CL-5610/CL-5610S 单元可以并联运行（1 台主机最多 2 台）*1 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
电源 | 交流电 100V 至 240V 50/60Hz | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
使用环境（仅限主机） | 温度：+23°C±2°C（保证精度范围），0°C 至 +40°C（工作范围） | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
外形尺寸 | 210 (W) x 99 (H) x 275 (D) mm（CL-5610/5610S 主体，不包括突起） 56 ( | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
大量的 | 约 4.2 kg（CL-5610/5610S 主机） | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
价格 | CL-5610： 662,000 日元（ 含税 728,200 日元） | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
*1 需要在设备之间进行调整才能使用 SYNC 功能。如有需要，请另行咨询。
选项
CL-0110输出功能（模拟输出、比较器输出）
| 模拟输出 | 端子数：3（SENSOR A、SENSOR B、A-OUT） SENSOR A、SENSOR B 输出项目：SENSOR A、SENSOR B的GAP值 （间隙检测器的输出模拟输出原样） 输出电压：5V/FS（带偏移[-5～0V]功能） 输出精度：±0.25%/FS（精度保证仅限于A、B各1个传感器） 响应频率：DC～4kHz A-OUT 输出内容：THICK、GAP A , GAP B, AB 输出 电压：-5 至 0 至 +5 V 输出精度：±0.25 %/FS 输出更新间隔：20 ms | ||
|---|---|---|---|
| 比较器功能 | 输出数：3（COMP1、COMP2、COMP3）
● ALL 模式：三个输出 | ||
| 价格 | ¥ 158,000 ( ¥ 173,800 含税) |
CL-0120 BCD输出功能
| 输出方式 | 6位并行BCD，集电极开路输出 |
|---|---|
| 输出项目 | 从 THICK、GAP-A、GAP-B、A-B、DISP 2 中选择 |
| 更新间隔 | 20毫秒 |
| 适用电缆 | AA-8207（3米，一侧开口） |
| 价格 | ¥ 74,000 ( ¥ 81,400 含税) |
CL-0200 高分辨率计算功能选项
| 结合 CL-0200 高分辨率计算功能选项可提高 VE 传感器的分辨率和线性度。 | |
| 价格 | ¥ 105,000 ( ¥ 115,500 含税) |
CL-0210 高阻接地模式功能
| 即使在接地电阻较高的测量条件下也可以进行稳定的测量。 | |
| 价格 | ¥ 84,000 ( ¥ 92,400 含税) |
CL-0300 绝缘子测量软件选项
| CL-5610/5610S 可以通过结合 CL-0300 绝缘体测量软件选项来测量绝缘体的厚度。 | |
| 价格 | ¥ 158,000 ( ¥ 173,800 含税) |
CL-015 晶圆滑台（定做）
| CL-015 是将 CL-5610/5610S 和 VE 传感器（夹持部分 φ10）组合在一起的简易手动滑台，用于非接触式测量硅晶片等半导体/导体晶片的厚度。放置晶圆的板面有凹槽，方便真空吸镊使用。 目标晶圆外径：100 至 150 毫米厚度：0.1 至 1 毫米 此外，还可以制造 200 毫米和 300 毫米等定制工作台。 |
| 价格 | ¥ 389,000 ( ¥ 427,900 含税) |
VE系列电容式间隙检测器
标准型
| 类型名称 | VE-5010 | VE-1020 | VE-1520 | VE-3020 | VE-8020 |
|---|---|---|---|---|---|
| 测量范围（μm）*1 | 50 到 500 | 100 到 1000 | 150 至 1500 | 300 至 3000 | 800 到 8000 |
| 外型（毫米）*2 | φ6 | φ8 | φ10 | φ20 | φ40 |
| 电缆长度 | 1.5m（电缆一体型） | 单独出售 VL-1520/1521 电缆 (1.5m) | |||
| 温度系数 | k1 = 1.7 x 10-5 , k2 = 3.4 x 10-5 | ||||
| 工作温度范围*3 | 0 至 +80°C | ||||
| 价格 | ¥ 100,000 ( ¥ 110,000 含税) | ¥ 95,000 ( ¥ 104,500 含税) | ¥ 65,000 ( ¥ 71,500 含税) | ¥ 105,000 ( ¥ 115,500 含税) | ¥ 116,000 ( ¥ 127,600 含税) |
φ10mm普通夹形型
| 类型名称 | VE-2011 | VE-5011 | VE-1021 | VE-3021 | VE-8021 |
|---|---|---|---|---|---|
| 测量范围（μm）*1 | 20 到 200 | 50 到 500 | 100 到 1000 | 300 至 3000 | 800 到 8000 |
| 外型（毫米）*2 | φ3 | φ6 | φ8 | φ20 | φ40 |
| 电缆长度 | 单独出售 VL-1520/1521 电缆 (1.5m) | ||||
| 温度系数 | k1 = 1.7 x 10-5 , k2 = 3.4 x 10-5 | ||||
| 工作温度范围*3 | 0 至 +80°C | ||||
| 价格 | ¥ 126,000 ( ¥ 138,600 含税) | ¥ 149,000 ( ¥ 163,900 含税) | ¥ 84,000 ( ¥ 92,400 含税) | - 销售结束 - （含税 - 销售结束 - ） | ¥ 137,000 ( ¥ 150,700 含税) |
*1 测量范围表示从传感器边缘到待测物体的最大间隙。
*2 被测物体的测量面的面积必须大于传感器的外径。
*3 工作温度范围是传感器可以工作的温度范围，不是保证线性的温度范围。
为确保线性，请在 +23°C±2°C 的温度下使用。VE系列的温度特性请参考以下内容。
最后更新：22021/01/11