KONSEI近藤 WHA-450AS 晶圆液晶手
模型展示方式规范型WHA-200ASWHA-300ASWHA-450ASWHF-200ASWHF-300AS输送工件晶片工件尺寸φ200φ300φ450φ200φ300输送方式边缘夹具要运输的纸张数1 件驱动系统闭合方向弹簧(夹紧方式)打开方向真空压力-60~-95kPa(采用负压气缸)操作行程10毫米(夹具7毫米,夹具费3毫米)夹持力3.5N约7N2.4~1.9N清洁FED 标准 1 级(需要吸
- 型号: WHA-450AS
模型展示方式规范型WHA-200ASWHA-300ASWHA-450ASWHF-200ASWHF-300AS输送工件晶片工件尺寸φ200φ300φ450φ200φ300输送方式边缘夹具要运输的纸张数1 件驱动系统闭合方向弹簧(夹紧方式)打开方向真空压力-60~-95kPa(采用负压气缸)操作行程10毫米(夹具7毫米,夹具费3毫米)夹持力3.5N约7N2.4~1.9N清洁FED 标准 1 级(需要吸

| 型 | WHA-200AS | WHA-300AS | WHA-450AS | WHF-200AS | WHF-300AS | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 输送工件 | 晶片 | |||||
| 工件尺寸 | φ200 | φ300 | φ450 | φ200 | φ300 | |
| 输送方式 | 边缘夹具 | |||||
| 要运输的纸张数 | 1 件 | |||||
| 驱动系统 | 闭合方向 | 弹簧(夹紧方式) | ||||
| 打开方向 | 真空压力-60~-95kPa(采用负压气缸) | |||||
| 操作行程 | 10毫米(夹具7毫米,夹具费3毫米) | |||||
| 夹持力 | 3.5N | 约7N | 2.4~1.9N | |||
| 清洁 | FED 标准 1 级(需要吸力) | |||||
| 货叉材料 | CFRP | |||||
| 件、临时座椅、垫子 | 偷看 | |||||
| 体重 | 约0.55公斤 | 约0.85公斤 | 约1.7公斤 | 约1.2公斤 | 约1.7公斤 | |
| 选择 | 打开/关闭确认传感器 | |||||