质量流量控制器PE-D20、电源一体型控制单元(48×170×96mm)
质量流量控制器 搭载了自动调零功能SEC-E40MK3-10CCM质量流量控制器 搭载了自动调零功能SEC-E40MK3-100CCM质量流量控制器 搭载了自动调零功能SEC-E40MK3-500CCM质量流量控制器 流量精度:±1%F.S.、SEC-E40MK3-1LM质量流量控制器 流量精度:±1%F.S.、SEC-E40MK3-10LM质量流量控制器 流量精度:±1%F.S.、SEC-E50
- 型号: PE-D20