中小流量调压器 L18HSH 玉崎供应YUTAKA
中小流量调压器 L18HSH 玉崎供应YUTAKA中小流量调压器 L18HSH 玉崎供应YUTAKA产品特点L18H系列是一款符合SEMI标准的1.5英寸块式调压器，专为设备制造商的集成供气系统而设计。另外，作为L18产品的后继产品，流量特性也得到了大幅改善。阀体焊接接头规格也非常适合节省阀箱空间。与之前的 L18 系列相比，流量大约增加一倍（面对面尺寸相同）隔膜外部密封采用金属密封。 规格适用气
- 型号： L18HSH
中小流量调压器 L18HSH 玉崎供应YUTAKA
中小流量调压器 L18HSH 玉崎供应YUTAKA
产品特点
L18H系列是一款符合SEMI标准的1.5英寸块式调压器，专为设备制造商的集成供气系统而设计。另外，作为L18产品的后继产品，流量特性也得到了大幅改善。
阀体焊接接头规格也非常适合节省阀箱空间。
与之前的 L18 系列相比，流量大约增加一倍（面对面尺寸相同）
隔膜外部密封采用金属密封。
规格
| 适用气体 | 高纯气体 |
| 入口压力 | 0.99MPa以下 |
| 调节压力 | 最大0.7MPa （范围规格：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.7MPa） |
| 承受压力 | 1.5MPa（入口侧） |
| Cv值 | 0.1 |
| 工作温度 | -10 至 +40°C |
| 外漏 | 1×10－11Pa·m3/s·He（真空法） |
| 重量 | 约0.36公斤 |
| 安装方法 | 后部螺丝安装 |