加压调整装置高压型高纯气体用 R61SS
加压调整装置高压型高纯气体用 R61SS加压调整装置高压型高纯气体用 R61SS产品特点R61系列是针对高压型高纯气体而设计的产品。它是旧ERS系列的继承者，具有内置过滤器和螺纹本体连接形状的基本结构。车身插焊支持 UJR 等焊接接头规格。 规格入口压力14.8MPa以下（最大19.6MPa）调节压力最大0.99MPa（范围规格：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.99M
- 型号： R61SS
加压调整装置高压型高纯气体用 R61SS
加压调整装置高压型高纯气体用 R61SS
产品特点
R61系列是针对高压型高纯气体而设计的产品。
它是旧ERS系列的继承者，具有内置过滤器和螺纹本体连接形状的基本结构。
车身插焊支持 UJR 等焊接接头规格。
规格
| 入口压力 | 14.8MPa以下（最大19.6MPa） |
| 调节压力 | 最大0.99MPa （范围规格：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.99MPa） |
| 气源压力波动 | 入口压力：调节压力每0.1MPa变化0.001MPa |
| 承受压力 | 22.2MPa（入口侧） |
| Cv值 | 0.31 |
| 工作温度 | -10 至 +40°C |
| 外漏 | 螺纹规格（P）：1×10-9Pa·m3/s·He（真空法） 焊接规格（W）：1×10-11Pa·m3/s·He（真空法） （等级“C”） 24小时充氮气测试） |
| 内部容积 | 25.3cm（不含3个压力表及配件） |
| 大量的 | 约2.0公斤 |
| 安装方法 | 使用前面板安装螺母或后螺钉安装 |