总经销CANON-ANELVA佳能组合泵1600 L/s
总经销CANON-ANELVA佳能组合泵1600 L/s、日本原装CANON-ANELVA佳能400 L/s 组合泵、日本原装CANON-ANELVA佳能400 L/s 组合泵组合泵将钛升华泵和三极离子泵（贵族泵）组合在一起，利用离子泵轻松产生清洁超高真空的能力，并实现高抽速，价格便宜成分特征目的气相沉积设备、电子显微镜、质谱仪、真空炉、各种分析设备、实验设备、排气设备以及其他释放大量气体的超高真
- 型号： 1600 L/s 组合泵
总经销CANON-ANELVA佳能组合泵1600 L/s、日本原装CANON-ANELVA佳能400 L/s 组合泵、日本原装CANON-ANELVA佳能400 L/s 组合泵
组合泵将钛升华泵和三极离子泵（贵族泵）组合在一起，利用离子泵轻松产生清洁超高真空的能力，并实现高抽速，价格便宜
特征 目的 气相沉积设备、电子显微镜、质谱仪、真空炉、各种分析设备、实验设备、排气设备以及其他释放大量气体的超高真空系统。 规格 抽速大成分
特征
每抽速1L/s的价格（包括控制装置的价格）约为离子泵的1/2至1/3。
与相同抽速的离子泵相比，轻便紧凑，体积和重量仅为1/5至1/10。因此，它可以很容易地安装和从排气系统中拆卸，并且可以在很小的空间内实现高排气速度。400 L/s 组合泵
排气速度/排气流量 参考图1 工作压力范围 10 -1 Pa 至 10 -9 Pa 烘烤温度 最高250℃ 大量的 约15公斤 进气法兰 φ152ICF法兰 内容积 4.5升 适用控制装置 922-9119 升华泵控制器和 PIC-052NP 20/60 L/s Noble 泵控制器 
800 L/s 组合泵
排气速度/排气流量 见图2 工作压力范围 10 -1 Pa 至 10 -9 Pa 烘烤温度 最高250℃ 大量的 约25公斤 进气法兰 φ203ICF法兰 内容积 约7.5升 适用控制装置 922-9119 升华泵控制器和 PIC-052NP 20/60 L/s Noble 泵控制器 
1600 L/s 组合泵
排气速度/排气流量 见图3 工作压力范围 10 -1 Pa 至 10 -9 Pa 烘烤温度 最高250℃ 大量的 约35公斤 进气法兰 进口法兰 φ253ICF法兰 内容积 约15.5升 适用控制装置 922-9119 升华泵控制器和 PIC-052NP 20/60 L/s Noble 泵控制器 
制造设备
在存储器等集成半导体的布线和晶体管的基板上形成薄膜的半导体器件制造设备；在基板上形成硬盘磁头、磁盘、磁传感器等的薄膜的存储设备。通过提供制造设备和在基板上沉积薄膜以形成 LED 和功率器件等分立半导体的设备，促进社会的发展。
成分
佳能ANELVA提供的部件被包括薄膜制造商在内的制造公司和研发机构用作处理真空技术的设备的重要部件和设备。
佳能ANELVA的真空技术有助于设备和测量设备的稳定性。
维修保养服务
基于与客户的密切沟通，佳能 ANELVA 提供的服务可帮助我们的设备和产品展示并保持高性能。
我们为客户提供最佳的维护服务，包括定期维护、维修、大修、零件清洁和设备改造。
新业务（合同）
我们的制造能力是我们多年培育的真空镀膜技术以及链接制造、生产管理、采购、质量控制的综合实力，为质量、性能提升、成本降低等改进做出贡献。