玉崎销售YAMAMOTO-MS山本鍍金試験器 晶圆电镀 晶圆用阴极盒
玉崎销售YAMAMOTO-MS山本鍍金試験器 晶圆电镀 晶圆用阴极盒种类阴极盒有标准型、密封型、吸密封型三种。请根据您的晶圆尺寸和镀膜厚度进行选择。 类型标准型封闭式吸密封式标准型(大电流型)概述- 适用于普通厚度的晶圆。- 电极环的触点(凸部)上也会沉积镀层。- 需要定期剥离触点上的镀膜。・接触区域或晶圆背面周围没有液体流动。・也可用作阳极氧化的夹具。・接触区域或晶圆背面周围没有液体泄漏。・也可
- 型号:
玉崎销售YAMAMOTO-MS山本鍍金試験器 晶圆电镀 晶圆用阴极盒种类阴极盒有标准型、密封型、吸密封型三种。请根据您的晶圆尺寸和镀膜厚度进行选择。 类型标准型封闭式吸密封式标准型(大电流型)概述- 适用于普通厚度的晶圆。- 电极环的触点(凸部)上也会沉积镀层。- 需要定期剥离触点上的镀膜。・接触区域或晶圆背面周围没有液体流动。・也可用作阳极氧化的夹具。・接触区域或晶圆背面周围没有液体泄漏。・也可
玉崎销售YAMAMOTO-MS山本鍍金試験器 晶圆电镀 晶圆用阴极盒
类型 | 标准型 | 封闭式 | 吸密封式 | 标准型(大电流型) |
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概述 | - 适用于普通厚度的晶圆。 - 电极环的触点(凸部)上也会沉积镀层。 - 需要定期剥离触点上的镀膜。 | ・接触区域或晶圆背面周围没有液体流动。 ・也可用作阳极氧化的夹具。 | ・接触区域或晶圆背面周围没有液体泄漏。 ・也可用作阳极氧化的夹具。 - 适用于易损坏的薄晶圆。 用空气抽吸即可均匀固定。(与真空去除器一起使用。) - 也可以处理500μm以上的厚镀层。 | - 适用于普通厚度的晶圆。 ・对于高速电镀等,可以设定比通常更高的电流密度。 - 当您想通过全表面电镀增加总电流时适合。 - 电极环的接点(表面点)上也会沉积镀层,因此需要定期剥离接点上的镀层。 |
兼容晶圆尺寸 | 2~12英寸 | 2~4英寸 | 4~12英寸 | 4~8英寸 |
晶圆厚度 | 200μm以上 | 200μm以上 | 100μm以上 | 200μm以上 |
镀膜厚度 | 兼容小于20μ | 兼容20μ以上 | 兼容20μ以上 | 小于20μm |
耐热温度 | 0~65℃ | 0~65℃ | 0~80℃ | 0~65℃ |
材料 | 亚克力 SUS304等 | 亚克力 SUS304等 | PPS SUS304等 | 亚克力 SUS304等 |