样品全新TOKYOKEISO东京计装 吹扫仪 P-810型
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样品全新TOKYOKEISO东京计装 吹扫仪 P-810型
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非常适合测量半导体制造过程中各种气体的流速。 可靠性高，具有周边密封。 在各种设备方面有丰富的经验。 还有一种是高档型，具有电解抛光处理和低泄漏。
主要应用
· 用于半导体制造设备气体
· 用于泄漏临界管线
空气： 最大 6 ~ 60 L/min（nor） 最小 水： 最大 0.2 ~ 2 L/min 最小标准规格
测量目标
一般气体、液体（水当量：密度1.0g/cm³、粘度1.0mPa・s）口径 RC ： 1/4“ （标准）， 1/8”
NPT ： 1/4“， 1/8”
SW ： 1/4“， 3/8” VCR ： 1/4“， 3/8”流量范围
5 ~ 50 mL/min（nor）
・流量范围的转换方法请参考P型功能和选择（TG-S0001）。
5 ~ 50 mL/min流体温度 最高 120°C （取决于包装材料） 流体压力 0.8 MPa 以下 测量精度 ±3% 满量程