样品全新TOKYOKEISO东京计装 吹扫仪 P-820型
样品全新TOKYOKEISO东京计装 吹扫仪 P-820型样品全新TOKYOKEISO东京计装 吹扫仪 P-820型样品全新TOKYOKEISO东京计装 吹扫仪 P-820型与P-810一样，它被广泛用于各种半导体器件中。 我们还生产带报警触点的簧片开关类型。主要应用用于半导体制造设备标准规格测量目标一般气体、液体（水当量：密度1.0g/cm³、粘度1.0mPa・s）口径RC ： 1/4“ （标准
- 型号：
样品全新TOKYOKEISO东京计装 吹扫仪 P-820型
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与P-810一样，它被广泛用于各种半导体器件中。 我们还生产带报警触点的簧片开关类型。
主要应用
用于半导体制造设备
P-821 ： 最大值：12 ~ 60 L/min（nor） 最小 P-823 ： 最大值：6 ~ 60 L/min（nor） 最小 P-821 ： 最大：0.4 ~ 2 L/min P-823 ： 最大：0.2 ~ 2 L/min标准规格
测量目标
一般气体、液体（水当量：密度1.0g/cm³、粘度1.0mPa・s）口径 RC ： 1/4“ （标准）， 1/8”
NPT ： 1/4“， 1/8”
SW ： 1/4“， 3/8” VCR ： 1/4“， 3/8”流量范围 空气
值：0.5 ~ 5 mL/min（nor）
值：5 ~ 50 mL/min（nor）
水
最小：5 ~ 50 mL/min
最小：5 ~ 50 mL/min
・流量范围的转换方法请参考P型功能和选择（TG-S0001）。流体温度 最高 120°C （取决于包装材料） 流体压力 0.8 MPa 以下 测量精度 P-823 ： ±3% 满量程
P-821 ： ±5% 满量程