样品全新TOKYOKEISO东京计装 吹扫仪 P-830型
样品全新TOKYOKEISO东京计装 吹扫仪 P-830型样品全新TOKYOKEISO东京计装 吹扫仪 P-830型样品全新TOKYOKEISO东京计装 吹扫仪 P-830型P-830通过检查和改进传统吹扫仪的结构和材料,具有130°C的耐热性。主要应用半导体制造设备冷却水管路标准规格测量目标液体(当量:密度1.0g/cm³ 粘度1.0mPa・s)口径Rc : 3/8“NPT : 3/8”SW :
- 型号:
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P-830通过检查和改进传统吹扫仪的结构和材料,具有130°C的耐热性。
半导体制造设备冷却水管路
水: 最大 1.5 ~ 7 L/min标准规格
测量目标 液体(当量:密度1.0g/cm³ 粘度1.0mPa・s) 口径 Rc : 3/8“
NPT : 3/8”
SW : 3/8“ (标准)流量范围
最小 0.1 ~ 1 L/min
・流量范围的转换方法请参考P型功能和选择(TG-S0001)
・选择流量刻度时,请参考标准流量表。流体温度 最高 130 °C 流体压力 最大 1 MPa 过程连接 RC、NPT、SW 测量精度 ±10% 满量程