TOKYOKEISO东京计装

在线报价TOKYOKEISO东京计装 紧凑型超声波流量监测仪 UCF006系列

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UCF006 是一款紧凑型超声波流量监测仪。 通过在流量测量部分使用直线结构,大大减少了对流体中所含气泡的影响,这在半导体工艺中是一个问题。 此外,由于管道是直的,几乎没有压力损失,可以减少管路内的压降。 此外,与传统产品相比,改进的时间分辨率和更快的信号处理提高了低流量范围内测量的稳定性。 它非常适合需要高度清洁度的工艺,例如半导体制造设备。

特征

  • · 显著提高抗泡性

    液体中气泡的存在抑制了超声波的传播,使流量测量不稳定。 该产品通过使流量测量部分为直线结构,成功地提高了流量测量的稳定性。

  • · 低压降

    由于几乎没有压力损失,直管路可减少压降

  • · 节省空间

    探测器和传感器的一体化结构,节省空间

  • · 法规遵从性

    EMC:EN61326-1:2013 符合
    RoHS 规范

主要技术指标

测量目标
口径3/8“ (尺寸 ... φ9.53,内径... φ6.35)
流量范围0 ~ 8000 毫升/分钟
流体温度10 ~ 80°C (环境温度 0 ~ 50°C)
流体压力0~0.5兆帕
过程连接PFA 管端
测量精度±2%R.D.(1700mL/min以上)
±34mL/min(1700mL/min以下)(
20°C自来水时)


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