【京都玉崎】【ULVAC爱发科】多级罗茨型干泵LR180
用途成膜装置（溅射装置/蒸镀装置等）缩短备料下料室的排气时间作为辅助排气泵（涡轮分子泵、机械增压泵的辅助排气）规格型号LR60LR90LR180LR421LR421-T最大排气速度50Hz62 m3/h(1030 L/min)112 m3/h(1860 L/min)183 m3/h(3100 L/min)440 m3/h(7333 L/min)440 m3/h(7333 L/min)60Hz80
- 型号： LR180
用途
成膜装置（溅射装置/蒸镀装置等）
缩短备料下料室的排气时间
作为辅助排气泵（涡轮分子泵、机械增压泵的辅助排气）
规格
| 型号 | LR60 | LR90 | LR180 | LR421 | LR421-T | |
| 最大 排气速度 | 50Hz | 62 m3/h (1030 L/min) | 112 m3/h (1860 L/min) | 183 m3/h (3100 L/min) | 440 m3/h (7333 L/min) | 440 m3/h (7333 L/min) |
| 60Hz | 80 m3/h (1333 L/min) | 126 m3/h (2100 L/min) | 237 m3/h (3950 L/min) | |||
| 到达压力 | 5.0 Pa | |||||
| 最大排气压力 （吸入圧力） | 大气压 | |||||
| 最大排气口压力 （排出圧力） | 1~ 大气压 Pa | |||||
| 吸气口 (CE规格) | VG50(KF50) | VG80(KF50) | VG100 | |||
| 排气口 | KF40 | VG50 | ||||
| 质量 | 180 kg | 245 kg | 335 kg | 415 kg | ||
| 电源 *1 | 三相 | 200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz) | 180~240 VAC/ 380~440 VAC(50/60 Hz) | |||
| 电流值 | 稳定时 | 6.9 A (at 200V) | 11.2 A (at 200V) | 18.9 A (at 200V) | 20.8 A (at 200V) | |
| 最大值 | 7.3 A (at 200V) | 11.8 A (at 200V) | 20.6 A (at 200V) | 48.5 A (at 200V) | ||
| 冷却水一次压力 | 0.1~0.3 MPa | 0.2~0.5 MPa | ||||
| 冷却水出入口压差 | >0.1 MPa | >0.2 MPa | ||||
| 冷却水流量 | >5.0 L/min | >4.0 L/min | ||||
| 吹扫气 | 一次压力 | 0.1~0.5 MPa | ||||
| 二次压力 | 0.05~0.1 MPa | |||||
| 氮气吹扫 | 轴 | 5 SLM | ||||
| 气镇 | 0~45 SLM | 没有 | 0~45 SLM | |||