【京都玉崎】【ULVAC爱发科】多级罗茨型干泵GR180A
空气、惰性气体等洁净气体的真空排气各种成膜设备放入取出室的真空排气真空干燥，真空气体置换和真空脱泡等一般产业真空气体置换，如真空热隔绝和气体填充规格型号GR60AGR90AGR180A最大排气速度50Hzm3/h(L/min)62(1030)112(1860)183(3100)60Hzm3/h(L/min)80(1333)126(2100)237(3850)极限压力 *1Pa5.0最大排气压力（吸
- 型号： GR180A
空气、惰性气体等洁净气体的真空排气
各种成膜设备放入取出室的真空排气
真空干燥，真空气体置换和真空脱泡等一般产业
真空气体置换，如真空热隔绝和气体填充
规格
| 型号 | GR60A | GR90A | GR180A | |||||
| 最大排气速度 | 50Hz | m3/h(L/min) | 62(1030) | 112(1860) | 183(3100) | |||
| 60Hz | m3/h(L/min) | 80(1333) | 126(2100) | 237(3850) | ||||
| 极限压力 *1 | Pa | 5.0 | ||||||
| 最大排气压力（吸入圧力） | 大气压 | |||||||
| 最大排气口压力（排出圧力） | Pa | 1.0 ~ 大气压 | ||||||
| 吸气口 | VG50 | VG80 | ||||||
| 排气口 | NW40 | |||||||
| DRP表面处理 | 〇 | |||||||
| 电机 | 输出 [kW] | 2.2 | 3.7 | 7.5 | ||||
| 电压 [V] | 50Hz | 200~240/380~415 | ||||||
| 60Hz | 200~240/380~460 | |||||||
| 质量 | kg | 128 | 188 | 268 | ||||
| 冷却方式 | 冷却水 一次供给压力 | MPa | 0.1~0.3 | |||||
| 冷却水 出入口压差 | MPa | >0.1 | ||||||
| 冷却水温度 | ℃ | 10~30 *2 | ||||||
| 冷却水流量 | L/min | >5.0 | ||||||
| 氮气 | 一次侧 供给圧力 | MPa | 0.1~0.5 | |||||
| 二次侧 调整圧力 *3 | MPa | 0.05 to 0.1 (运作时) | ||||||
| 轴 | SLM | 5.0 *4 | ||||||