【京都玉崎】【ULVAC爱发科】气体分析仪RGM2-201F

CVD/ALD/蚀刻工艺型号：RGM2-201F荣获2023年度日本真空工业协会“真空元器件大奖”反应性工艺气体监测器 Qulee RGM2-201F 是一款带有差动排气系统的工艺监测器，适用于“型号：Qulee”的蚀刻、CVD 和 ALD 设备等反应性工艺。ULVAC 独特的离子源和排气系统结构使其对反应性气体具有出色的耐腐蚀性，并可实现长时间稳定的测量。

• 型号： RGM2-201F