【京都玉崎】【ULVAC爱发科】气体分析仪RGM2-202

CVD/ALD/蚀刻工艺型号：RGM2-202反应性工艺气体监测器 Qulee RGM2-202 是一款带有差动排气系统的工艺监测器，适用于蚀刻和 CVD 等反应性工艺，型号为“Qulee”。ULVAC独特的离子源和排气系统结构使其对反应性气体具有出色的耐腐蚀性，并可实现长时间稳定的测量。前往产品信息

• 型号： RGM2-202