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TMS-2000晶圆厚度分布测量装置TMS-2000 可以非接触方式测量晶圆的厚度分布,并能以 1nm 的精度测量平整度。询问目录OCT原理
TMS-2000
TMS-2000 可以非接触方式测量晶圆的厚度分布,并能以 1nm 的精度测量平整度。