【京都玉崎】【日本大亚真空Diavac】SR-350DS-31-N溅射设备
产品信息 [成膜设备/其他 | 溅射设备]特点/应用/目的特征■紧凑、经济，适用于研发。■通过安装传送室和L/UL室（可选），可实现全自动溅射。目的电池材料、微型机械、防反射膜、阻隔膜、透明导电膜、记录介质目的该设备设计用于溅射各种材料。[可定制产品：我们提供各种形状以满足您的需求。]目录（PDF）标准规格真空室（溅射室）圆筒形、SUS304、内尺寸φ350×H270、盖板升降旋转式（气液驱动）、
- 型号：
产品信息 [成膜设备/其他 | 溅射设备]
特点/应用/目的
特征 ■紧凑、经济，适用于研发。
■通过安装传送室和L/UL室（可选），可实现全自动溅射。目的 电池材料、微型机械、防反射膜、阻隔膜、透明导电膜、记录介质 目的 该设备设计用于溅射各种材料。 [可定制产品：我们提供各种形状以满足您的需求。]
标准规格
| 真空室 （溅射室） | 圆筒形、SUS304、内尺寸φ350×H270、 盖板升降旋转式（气液驱动）、 极限压力：1×10-4Pa以下、 带百叶窗的观察窗、 烘烤加热器（选配）、 溅射向下式（可改为溅射向上式） | |
|---|---|---|
| 阴极 | 2 英寸磁控管阴极、4 个 磁靶阴极（可选）、 单独快门的远程驱动（可选：可定时器驱动）、 RFxRF 或 RFxDC（可选）可同时放电 | |
| PCB支架 | ф280旋转基板支架 3-30 rpm连续旋转或90º步进进给 水冷（选项：300ºC加热） 可进行逆溅射（RF300W）（选项） | |
| 排气系统 | 300 L/sec TMP+RP（选项：可改为干泵） 通过蝶阀调节电导（手动） 排气操作和干气泄漏自动操作 | |
| 燃气系统 | 质量流量控制器2系列（可选：可添加气体系列） | |
| 真空计 | 宽带电离真空计+皮拉尼真空计 | |
| 溅射电源 | RF300W x 2 个单元（可选：可添加直流电源） 两个单元自动匹配 | |
| 公用事业 | 安装空间：约W2000 x D1000 x H1500 冷却水：3L/min、0.1～0.15MPa 电源容量：3ф200V 5kVA 溅射 气体、干燥气体（检漏用） | |
| 选项 | 中转室 装卸室 其他 请参考以上项目。 | |