产品信息 [成膜装置/其他 | 微波等离子CVD装置]特点/应用/目的特征■用于金刚石合成的研究开发■用于微波等离子体处理的研究开发■微波电源：频率2.45GHz，容量1.5kW目的用于CVD金刚石合成的研发！用于微波等离子处理的研究和开发！金刚石基板、金刚石窗口、金刚石散热器目的该设备用于微波等离子表面处理和金刚石薄膜合成。[可定制产品：我们提供各种形状以满足您的需求。]目录（PDF）标准规格（
| 特征 | ■用于金刚石合成的研究开发 ■用于微波等离子体处理的研究开发 ■微波电源：频率2.45GHz，容量1.5kW |
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| 目的 | 用于CVD金刚石合成的研发！ 用于微波等离子处理的研究和开发！ 金刚石基板、金刚石窗口、金刚石散热器 |
| 目的 | 该设备用于微波等离子表面处理和金刚石薄膜合成。 |
[可定制产品：我们提供各种形状以满足您的需求。]
| 反应室 | 水冷夹套式圆筒形真空室 材质：SUS304 尺寸：φ140 x H200 微波导入窗：φ160、石英玻璃 检查窗：φ14 x 2、石英玻璃 基板支架：水冷铜轴结构 样品台：φ1英寸和φ2英寸，各一个，材质为钼 基板更换：反应室底部升降式 |
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| 气体引入系统 | 质量流量控制器2系列（3系列：甲烷、氢气、氮气等） |
| 真空计 | 隔膜真空计 F-tron 真空计，133 至 0.1 kPa 皮拉尼真空计数字显示，100 至 0.01 kPa |
| 排气系统 | 油旋片泵（涡轮分子泵）240L/min，配备油雾收集器， 手动调节抽速（或自动调节压力） |
| 微波电源 | 频率：2.45 GHz 容量：0.5 至 3 kW（5 kW） 波导组、功率计等 匹配器：4E 调谐器型自动匹配器（手动 EH 调谐器） 模式转换器：TE10 → TM01 转换 |
| 其他选择 | 使用仪器软件进行集中 PC 控制；使用 WebAccess 辐射温度计；600-3000°C 光纤型 等离子体监测器；持续监测 656nm（氢原子发射）、515nm（C2 发射） |
| 实用工具 | 安装空间：W770xD620xH1400（主机不含微波电源） 、电力、冷却水、阀驱动压缩空气（可由罐体供给）、排气管道 原料气体供给设备（气瓶等） |