【京都玉崎】【日本大亚真空Diavac】线性离子源LIS700
什么是线性离子源 (LIS)？特征■离子蚀刻设备搭载的圆形离子源经过改进，长度更长，照射面积更大。■可进行宽幅制膜的预处理及大型工件的蚀刻。优点传统的LIS结构是在中心放置强力永磁体来产生磁场。维护时，强力永磁体会使其难以拆卸和安装，从而引发维护方面的担忧。但通过采用独特的电磁线圈系统，系统关闭时不会产生磁场，从而简化了部件的拆卸和安装，并抑制了磁力吸引造成的污染。这不仅有助于长期运行，还提高了可
- 型号： LIS700
什么是线性离子源 (LIS)？
特征 ■离子蚀刻设备搭载的圆形离子源经过改进，长度更长，照射面积更大。
■可进行宽幅制膜的预处理及大型工件的蚀刻。优点 传统的LIS结构是在中心放置强力永磁体来产生磁场。
维护时，强力永磁体会使其难以拆卸和安装，从而引发维护方面的担忧。但通过采用独特的电磁线圈系统，系统关闭时不会产生磁场，从而简化了部件的拆卸和安装，并抑制了磁力吸引造成的污染。这不仅有助于长期运行，还提高了可维护性。提案详情 ■我们还销售LIS的零部件和专用高压电源，并为配备LIS的大型设备提供方案。
■目前正在扩充尺寸阵容。如需了解产品信息，请联系我们。（新明和工业株式会社网站）
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