【京都玉崎】【日本CANON ANELVA】MRAM溅射设备EC7800

该溅射设备是集成了HC7100系列磁性薄膜技术架构而开发的，HC7100系列已作为硬盘磁头的GMR和TMR磁头的磁性薄膜溅射设备交付给众多客户，而IC7000系列（以前的I-1000系列）已作为半导体存储器的溅射设备交付给众多客户。该设备沉积多层膜以形成用于MRAM的MTJ元件，MRAM作为非易失性存储器（NVM）而备受关注，适用于从研发到小规模生产的所有领域。产品信息目的特征规格引入新溅射技术L

• 型号： MRAM溅射设备EC7800