【京都玉崎】【日本CANON ANELVA】EC8100 LED生产溅射设备

这是采用托盘方式的全自动集群型溅射装置，非常适合LED等使用小型基板的领域的生产，并配备了多个可形成多层膜的溅射室。产品信息目的特征规格旋转沉积可以在大面积上实现良好的薄膜厚度分布，从而可以通过在托盘中运输来实现多个基板的批量处理。φ2”基板×50片/批φ3”基板×25片/批φ4”基板×16片/批φ6英寸基板×8片/批φ8英寸PCB x 4片/批无损伤沉积（长距离溅射240-340毫米）良好的膜厚