【京都玉崎】【日本CANON ANELVA】电子元件生产溅射设备 EC7400
这是一套用于生产电子元件和设备的高质量、节省空间的溅射系统，继承了在半导体制造设备、磁盘制造设备等方面积累的技术。它是一套全自动集群式系统，可配备各种工艺模块。产品信息目的特征规格卡式室和传送室为标准设备（CtoC规格）实现良好的膜厚分布根据应用情况可安装多种工艺模块
- 型号： 电子元件生产溅射设备 EC7400
这是一套用于生产电子元件和设备的高质量、节省空间的溅射系统，继承了在半导体制造设备、磁盘制造设备等方面积累的技术。
它是一套全自动集群式系统，可配备各种工艺模块。