【京都玉崎】【日本CANON ANELVA】EC7000系列小规模生产溅射设备

这种紧凑型集群溅射系统非常适合小规模生产，它结合了我们通过丰富的经验积累的真空和溅射技术。通过提供多种可选功能，可以根据您的需求定制系统。产品信息目的特征规格设备配置：集群型（EC7000：1个溅射室，EC7001：2个溅射室）托盘输送系统适用基板尺寸：最大φ200mm阴极：φ4英寸阴极×3（标准）φ4英寸阴极×4（可选）φ12.5英寸阴极×1（可选）操作方式：全自动（排气、输送、成膜）