【京都玉崎】【日本CANON ANELVA】磁盘溅射设备ML3000系列
该溅射设备适用于从硬盘驱动器关键部件磁盘的量产到下一代开发的所有领域。产品信息目的特征规格装置构成：直列式兼容板尺寸：2.5英寸、3.5英寸生产率：最高1800片晶圆/小时（取决于设备配置和工艺时间）真空性能：极限真空度10-6Pa排气系统：TMP/CRYO PUMP 可选安装面积：90平方米（ P22配置）
- 型号： 磁盘溅射设备ML3000系列
该溅射设备适用于从硬盘驱动器关键部件磁盘的量产到下一代开发的所有领域。
该溅射设备适用于从硬盘驱动器关键部件磁盘的量产到下一代开发的所有领域。产品信息目的特征规格装置构成：直列式兼容板尺寸：2.5英寸、3.5英寸生产率：最高1800片晶圆/小时（取决于设备配置和工艺时间）真空性能：极限真空度10-6Pa排气系统：TMP/CRYO PUMP 可选安装面积：90平方米（ P22配置）