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【京都玉崎】【日本CANON ANELVA】EL3000系列LED生产溅射设备

【京都玉崎】【日本CANON ANELVA】EL3000系列LED生产溅射设备

该托盘输送式全自动溅射设备采用多基板批量处理方式，非常适合LED等使用小型基板领域的生产。产品信息目的特征规格旋转沉积可在大面积上实现良好的膜厚分布，因此可以使用托盘运输批量处理多块基板。φ2" 基板 x 50 片/批次φ3" 基板 x 25 片/批次φ4" 基板 x 17 片/批次φ6" 基板 x 8 片/批次全自动运行（真空操作、基板输送、成膜工序可实现

型号： EL3000系列LED生产溅射设备

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该托盘输送式全自动溅射设备采用多基板批量处理方式，非常适合LED等使用小型基板领域的生产。

旋转沉积可在大面积上实现良好的膜厚分布，因此可以使用托盘运输批量处理多块基板。φ2
" 基板 x 50 片/批次
φ3" 基板 x 25 片/批次
φ4" 基板 x 17 片/批次
φ6" 基板 x 8 片/批次
全自动运行（真空操作、基板输送、成膜工序可实现全自动）
标准设备最多配备四个 φ7.1 英寸阴极或 φ12.5 英寸阴极。
旋转磁控阴极实现高靶材利用率
通过添加溅射室或储料器机制，可以根据应用和生产量定制设备配置。