【京都玉崎】【日本CANON ANELVA】MRAM干法刻蚀设备NC8000

该离子束蚀刻系统能够一次性蚀刻使用传统反应蚀刻难以加工的MRAM多层磁性膜，实现高加工性能和生产率。产品信息目的特征规格大直径网格，确保高均匀性和高生产率使用无夹钳进行全表面蚀刻使用OES（光学终点系统）检测MRAM多层膜中使用的各种金属膜