【京都玉崎】【日本CANON ANELVA】子扩散键合（ADB）设备 BC7300

123产品信息特征原则目的连接材料主要规格设备配置：集群类型兼容基板尺寸：∅200 毫米、∅300 毫米主排气系统：涡轮分子泵电源：3φAC200V±10%、225A、50/60Hz（D类接地）冷却水：21～33L/min、0.2～0.3MPa、15～30℃压缩空气：0.5～0.8MPa工艺气体：0.15～0.4MPa重量：6,730公斤（设备本体）安装面积：W4,000 mm × D7,100