微型压力表是一种小型金属压力表球。一个压力表即可测量从极限压力到溅射等工艺压力（可测量1Pa范围）的压力。此类型连接到压力表适配器（O型圈插入式）。（φ15 mm、φ18 mm）提供NW16/25、φ34ICF和φ70ICF类型。成分规格外形尺寸各种法兰安装示例规格格式 MG-2MG-2M MG-2I/NW16,25 MG-2I/φ34ICF、φ70ICF MG-2F MG-2WF阀体材质 SUS
微型压力表是一种小型金属压力表球。
一个压力表即可测量从极限压力到溅射等工艺压力（可测量1Pa范围）的压力。
此类型连接到压力表适配器（O型圈插入式）。（φ15 mm、φ18 mm）
提供NW16/25、φ34ICF和φ70ICF类型。
成分
规格
格式 MG-2 MG-2M MG-2I/
NW16,25 MG-2I/
φ34ICF、φ70ICF MG-2F MG-2WF 阀体材质 SUS304 测量压力上限（注1） 十三 帕 1.3×10 -1 (注3) Pa 测量下限压力（注2） 10 -6 Pa级 10 -7 Pa级 1.0×10 -5 (注4) Pa单位 敏感度 0.045帕-1 灯丝 两根内置灯丝
灯丝材质：氧化钇镀膜铱丝两根内置灯丝
灯丝材质：钨测量球体体积 约12cc 电源要求 灯
丝网格除气2.3瓦
1.0瓦2.5瓦
1.0瓦脱气方法 电网通电 安装方法 可焊接至φ15规格适配器或各种法兰 φ18规格适配器 NW25、NW16 φ34ICF、φ70ICF 连接至φ70ICF法兰 可焊接至φ15规格适配器或各种法兰