这是最常见的BA型电离真空计系列,配备了与各种真空计兼容的各种扩展板。
它标配了真空设备过程控制所需的远程控制和量程保持功能。此外,还提供可通过CC-Link进行通信控制的类型。M
-823HG单机即可覆盖从大气压到高真空的广泛范围,并具有高精度。
成分
规格
型号名称 | M-723HG | M-823HG | M-923HG |
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测量球 | UGD-1S BA规格球 | BRG-1B 宽范围 BA 规格球 | NIG-2F/NIG-2TF 裸离子规灯泡 |
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压力测量 范围(Pa) | 5量程自动切换 10 -2 , 10 -3 , 10 -4 , 10 -5 , 10 -6 | 7量程自动切换 10 -0 , 10 -1 , 10 -2 , 10 -3 , 10 -4 , 10 -5 , 10 -6 | 8量程自动切换 10 -2 、10 -3 、10 -4 、10 -5 、 10 -6 、10 -7 、10 -8 、10 -9 |
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测量量程切换 | 自动切换(可保持范围) |
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气体释放 | 栅极电流加热方式 | 电子轰击法 |
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灯丝切换 | 可通过前面板和外部控制输入切换(M823HG 除外) |
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灯丝保护 | 如果压力、离子电流、发射电流的波动范围出现问题,就会自动关闭。 |
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模拟输出 | D/A输出(尾数D/A输出、指数D/A输出、复合D/A输出) 模拟原始输出(静电计输出) |
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输入/输出远程 | 输入 | 灯丝开/关输入、 脱气开/关输入 、灯丝抑制输入、 量程保持 1 输入、 量程保持 2 输入、 灯丝开关输入、 仪表 1/2 开关输入(使用仪表选择器选项时) |
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| 输出 | 灯丝开 / 关输出 脱气开 / 关输出 远程 / 本地输出 设定点输出(2 点) 真空计 1/2 选择输出(使用真空计选择器选项时) 电源开 / 关输出 灯丝 1/2 输出 警报输出 |
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设定点 | 2 个设定点标准(集电极开路) |
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外形尺寸(毫米) | 高99×宽209×深330 |
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电源要求 | AC100 V ±10%、2 A、50/60 Hz(也兼容 AC115/200/230 V) |
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大量的 | 5.4 千克(未安装可选板) |
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标准配置 | 真空计主体(不包括测量灯泡和电缆) |
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