它可以在从大气压到1 x 10-2 Pa的宽压力范围内进行高可靠性测量。它利用了石英晶体谐振阻抗随压力变化的现象，从而实现了接近大气压的更高重复性和高稳定性测量。它还可以用作压力开关，用于检测腔室中的大气压排气口以及测量过程压力。成分特征目的规格外形尺寸规格型号名称M-320XG测量球XG-1 晶体压力表头（仅适用于晶体压力表）测量压力范围1× 10-2 Pa 至大气压气体类型选择氮气、氩气、氢气
它可以在从大气压到1 x 10-2 Pa的宽压力范围内进行高可靠性测量。
它利用了石英晶体谐振阻抗随压力变化的现象，从而实现了接近大气压的更高重复性和高稳定性测量。它还
可以用作压力开关，用于检测腔室中的大气压排气口以及测量过程压力。
成分
规格
型号名称 M-320XG 测量球 XG-1 晶体压力表头（仅适用于晶体压力表） 测量压力范围 1× 10-2 Pa 至大气压 气体类型选择 氮气、氩气、氢气、空气 模拟输出
（压力信号）DC 0 - 10 V：可使用数字开关设置以下输出格式：
① 对数输出
② 复合输出
③ 线性输出 可选满量程压力范围（1 x 10 1 、1 x 10 2 、1 x 10 3 、1 x 10 4 、1 x 10 5 Pa）远程输入/输出 输入 ①气体类型设定：2位信号开关
②零点调整
③ATM设定 输出 2 个设定点输出 设定点 2点（光电耦合器输出，固定滞后）
通过数字开关设置（SP1和SP2为尾数和指数）操作环境 5℃至50℃（含控制器）
仅测头耐热温度：150℃ MAX零点调整 通过按钮开关或远程 I/O 输入进行软件零点调整 全量程调整 通过微调音量进行调整 输入/输出连接器 Dsub 15P 展示 3 个 LED（PWR/ALM：2 色绿/红、SP1 状态：绿色、SP2 状态：绿色） 电源要求 DC 22 V 至 33 V，（最大功耗 2 W） 外形尺寸（毫米） 72.5H x 102W x 44.5D（不含测量头） 大量的 200 克（不含测头） 传感器安装法兰 NW16、NW25、φ34ICF、φ70ICF等