CANON ANELVA佳能真空

【京都玉崎】【日本CANON ANELVA】皮拉尼规(镍丝)M-351PG-SP

该型号采用镍丝以提高耐腐蚀性,并与 RIE 和 CVD 等硬工艺设备兼容。成分特征目的规格外形尺寸规格型号名称M-351PG-SP(镍丝规格)(带设定点)测量压力范围5× 10-2至1×105 (帕)精度(Pa)±50%:5×10 -2  ~ 1×10 -1±15%:1×10 -1  ~ 1×10 4±50%:1×10 4  ~ 1×10 5可重复性±2%:1×10 -1 至 1×10 4 Pa输

  • 型号: M-351PG-SP

该型号采用镍丝以提高耐腐蚀性,并与 RIE 和 CVD 等硬工艺设备兼容。

成分

规格

型号名称M-351PG-SP
(镍丝规格)(带设定点)
测量压力范围5× 10-2至1×105 帕)
精度(Pa)±50%:5×10 -2  ~ 1×10 -1
±15%:1×10 -1  ~ 1×10 4
±50%:1×10  ~ 1×10 5
可重复性±2%:1×10 -1 至 1×10 Pa
输入电压+14至30 VDC
功耗2 瓦
模拟输出0至10 V
仪表识别电阻值13 KΩ(D-sub 引脚 5 和 9 之间)
设定点2 触点输出(1 A 30 V,DC)
界面-
输入/输出连接器D-sub 9针
最大电缆长度支持200米(0.34平方毫米*1
工作温度范围5至60°C
存储温度范围-20 至 70°C(非工作)
烘烤温度<+150°C (O 型圈规格,仅表头)
<+300°C (金属密封规格,仅表头)
允许过载压力1 MPa(仅限于NPT接头、惰性气体、绝对压力)
适用皮拉尼传感器型号MP-2
法兰形状NW16、NW25、1/8NPT
传感器材料(主要部件) 皮拉尼灯丝:镍
传感器管:不锈钢引入端子
绝缘:可伐玻璃+ Al2O3涂层
一致 CE 标志、RoHS、IP40


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