GF040 弹性体密封质量流量控制器和流量计一台设备，适用于多种气体和多种流量，无与伦比的灵活性使用一台设备应对多种气体相当于实现了工艺灵活性和生产效率最大化。采用布鲁克斯仪器独有 MultiFlo™ 技术的 GF40 系列橡胶密封热式质量流量计和控制器非常适用于那些使用多种气体、需要频繁切换气体类型或是需要在保证气体测量和控制准确性的同时重新设定测量范围的系统、工艺和设施。该产品与前所未有的流量
使用一台设备应对多种气体相当于实现了工艺灵活性和生产效率最大化。采用布鲁克斯仪器独有 MultiFlo™ 技术的 GF40 系列橡胶密封热式质量流量计和控制器非常适用于那些使用多种气体、需要频繁切换气体类型或是需要在保证气体测量和控制准确性的同时重新设定测量范围的系统、工艺和设施。该产品与前所未有的流量测量和控制性能相结合，能够将工艺灵活性提升至新高度。
可编程多气体/多量程功能
Brooks® MultiFlo™ 气体数据库包含数千种天然气体测定结果，可用于建立修正函数
流量响应时间不足 1 秒，精度可达目标应用设定值的 1%
非常适用于各种气体
快速响应，哈氏合金传感器
拥有独立于工具通信并可轻松接入的诊断服务端口
多协议通信选项包括经 ODVA 认证的 DeviceNet™、EtherCAT®、Profibus® 以及 RS-485 模拟接口。
| 介质类型 | Gas |
|---|---|
| 流量测量原理 | Thermal (TMF) |
| 流量范围 | 3 sccm - 50 slpm |
| 精度范围 | 1% of S.P. 35-100%, 0.35% of FS 2-35% |
| 调节比 | 2-100% |
| 重复性 | 0.20% S.P. |
| 最大压力 | 150 psi |
| 工作温度 | 5°C - 50°C |
| 测量/控制 | Measure & Control (Controller), Measure Only (Meter) |
| 最大流量 | 50 slpm |
| 最高温度 | 50 celsius |
| 密封选项 | Elastomer |
| 精度（占流量百分比） | ±1.0% |
| 连接方式 | Analog (0–5 V), Analog (0–10 V), Analog (0–20 mA), DeviceNet, EtherCAT, Profibus, RS485 |
