优势MultiFlo™ 技术能够在不拆除管路中 MFC 的条件下设定新气体和满量程，从而最大限度延长运行时间MultiFlo™ 编程功能简单、易用；60 s 内即可完成新气体的选择操作可大幅降低设备商和大型终端用户的流量控制器库存得益于基于国际标准的高级计量系统和校准技术，产品拥有出色的工艺气体测量精度耐腐蚀传感器拥有无可比拟的长期稳定性，可确保良率和产能最大化对用户开放的服务端口简化了故障排除和
MultiFlo™ 技术能够在不拆除管路中 MFC 的条件下设定新气体和满量程，从而最大限度延长运行时间
MultiFlo™ 编程功能简单、易用；60 s 内即可完成新气体的选择操作
可大幅降低设备商和大型终端用户的流量控制器库存
得益于基于国际标准的高级计量系统和校准技术，产品拥有出色的工艺气体测量精度
耐腐蚀传感器拥有无可比拟的长期稳定性，可确保良率和产能最大化
对用户开放的服务端口简化了故障排除和诊断操作
各种橡胶密封件为各种应用提供了经济实惠的性能灵活性
多协议通信接口可集成至现有系统
| 介质类型 | Gas |
|---|---|
| 流量测量原理 | Thermal (TMF) |
| 流量范围 | 3 sccm - 50 slpm |
| 精度范围 | 1% of S.P. 35-100%, 0.35% of FS 2-35% |
| 调节比 | 2-100% |
| 重复性 | 0.20% S.P. |
| 最大压力 | 150 psi |
| 工作温度 | 5°C - 50°C |
| 测量/控制 | Measure & Control (Controller), Measure Only (Meter) |
| 最大流量 | 50 slpm |
| 最高温度 | 50 celsius |
| 密封选项 | Elastomer |
| 精度（占流量百分比） | ±1.0% |
| 连接方式 | Analog (0–5 V), Analog (0–10 V), Analog (0–20 mA), DeviceNet, EtherCAT, Profibus, RS485 |
