特点可编程多气体/多量程功能Brooks® MultiFlo™ 气体数据库包含数千种天然气体测定结果，可用于建立修正函数流量响应时间不足 1 秒，精度可达目标应用设定值的 1%非常适用于各种气体快速响应，哈氏合金传感器拥有独立于工具通信并可轻松接入的诊断服务端口多协议通信选项包括经 ODVA 认证的 DeviceNet™、EtherCAT®、Profibus® 以及 RS-485 模拟接口。介质类
可编程多气体/多量程功能
Brooks® MultiFlo™ 气体数据库包含数千种天然气体测定结果，可用于建立修正函数
流量响应时间不足 1 秒，精度可达目标应用设定值的 1%
非常适用于各种气体
快速响应，哈氏合金传感器
拥有独立于工具通信并可轻松接入的诊断服务端口
多协议通信选项包括经 ODVA 认证的 DeviceNet™、EtherCAT®、Profibus® 以及 RS-485 模拟接口。
| 介质类型 | Gas |
|---|---|
| 流量测量原理 | Thermal (TMF) |
| 流量范围 | 3 sccm - 50 slpm |
| 精度范围 | 1% of S.P. 35-100%, 0.35% of FS 2-35% |
| 调节比 | 2-100% |
| 重复性 | 0.20% S.P. |
| 最大压力 | 150 psi |
| 工作温度 | 5°C - 50°C |
| 测量/控制 | Measure & Control (Controller), Measure Only (Meter) |
| 最大流量 | 50 slpm |
| 最高温度 | 50 celsius |
| 密封选项 | Elastomer |
| 精度（占流量百分比） | ±1.0% |
| 连接方式 | Analog (0–5 V), Analog (0–10 V), Analog (0–20 mA), DeviceNet, EtherCAT, Profibus, RS485 |
