GF120xHT高温质量流量控制器(MFC)和流量计设计用于控制和测量来自液体或固体源的蒸气的质量流量，以支持这些前体在半导体制造过程中日益增长的使用。GF120xHT上的流量模块可以承受高达150°C的工作环境。为了支持这个温度范围，电子部件远程连接到设备的其余部分，并安装在较低温度的区域(最高50°C)。远程电子部件可以DIN安装，可选择三种不同的互连电缆长度- 3英尺，8英尺和16.5英尺的
GF120xHT高温质量流量控制器(MFC)和流量计设计用于控制和测量来自液体或固体源的蒸气的质量流量，以支持这些前体在半导体制造过程中日益增长的使用。GF120xHT上的流量模块可以承受高达150°C的工作环境。为了支持这个温度范围，电子部件远程连接到设备的其余部分，并安装在较低温度的区域(最高50°C)。远程电子部件可以DIN安装，可选择三种不同的互连电缆长度- 3英尺，8英尺和16.5英尺的标准选项。广泛的通信协议和装配选择使GF120xHT成为下一代工艺设备和传统加热的MFC升级的理想选择。
| 介质类型 | Gas |
|---|---|
| 流量测量原理 | Thermal (TMF) |
| 流量范围 | 50 sccm - 5 slpm |
| 精度范围 | 5-100% = ±0.15% of S.P., 2-5% = ±0.015% of F.S. |
| 重复性 | 5-100% = ±0.15% of S.P., 2-5% = ±0.015% of F.S. |
| 最大压力 | 500 psi |
| 工作温度 | 45°C - 150°C |
| 密封选项 | Metal |
| 测量/控制 | Measure & Control (Controller) |
| 最大流量 | 5 slpm |
| 最高温度 | 150 celsius |
| 精度（占流量百分比） | ±1.0% |
| 连接方式 | Analog (0–5 V), DeviceNet, EtherCAT, RS485 |
