特点高泄漏完整性（小于 10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He）宽流速范围（0.003 - 100 slpm）高纯度 VAR 316L 不锈钢无磨粒氦泄漏检查端口常闭阀（可选常开阀）电致动阀复位低命令流量断流TTL 兼容"关阀"功能介质类型Gas/Vapor流量测量原理Thermal (TMF)流量范围0.003 - 100 slpm精度范围1% o
高泄漏完整性（小于 10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He）
宽流速范围（0.003 - 100 slpm）
高纯度 VAR 316L 不锈钢
无磨粒
氦泄漏检查端口
常闭阀（可选常开阀）
电致动阀复位
低命令流量断流
TTL 兼容"关阀"功能
| 介质类型 | Gas/Vapor |
|---|---|
| 流量测量原理 | Thermal (TMF) |
| 流量范围 | 0.003 - 100 slpm |
| 精度范围 | 1% of FS |
| 重复性 | ±0.25% of rate |
| 最大压力 | 145 psi |
| 工作温度 | 50°C - 105°C |
| 测量/控制 | Measure & Control (Controller) |
| 最大流量 | 100 slpm |
| 最大工作压力 | 10 bar |
| 最高温度 | 105 celsius |
| 密封选项 | Metal |
| 精度（满量程） | ±1% FS |
| 连接方式 | Analog (0–5 V) |
